電子源は粒子加速器の中核となるビーム生成部品であり、高品質な電子ビームの生成・射出を担います。通常、陰極・陽極・集束電極および高電圧絶縁構造で構成され、熱電子放出または電界放出の原理で動作します。その性能は加速器全体のビーム品質を直接左右します。主要指標は放出電流密度、ビームエミッタンス、エネルギー広がり、長期動作安定性です。高品質の電子源には高輝度・低エミッタンス・優れた再現性が求められ、これは後段の加速・集束および自由電子レーザー、シンクロトロン光、産業用照射などの高効率応用の前提となります。
当社は1 keV–200 keVのビームエネルギー、1 nA–15 mAのビーム電流、1 mm–50 mmのビーム径に対応し、走査システム搭載時は1000 mm×1000 mmの範囲を均一走査できます。
製品シリーズ
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