私たちの製品
電子源
電子源は粒子加速器の中核となる源头部品で、高品質の電子ビームを生成・放出します。通常、カソード、アノード、集束電極、高圧絶縁構造で構成され、熱電子放出または電界放出の原理で動作します。その性能が加速器全体のビーム品質を直接左右します。主要指標は放出電流密度、ビームエミッタンス、エネルギー広がり、長期安定性です。高輝度・低エミッタンスで再現性に優れたビームは、後段の加速・集束や、自由電子レーザー・シンクロトロン光・産業照射などの応用の前提条件となります。
当社は1 keV–200 keVの電子ビーム、1 nA–15 mAのビーム電流、1 mm–50 mmのスポット径に対応し、1000 mm×1000 mmの均一走査が可能なスキャンシステムも提供します。
ビーム診断プローブ
ビーム診断システムは粒子加速器の「感覚器官」です。その核心機能は、ビームの強度・位置・プロファイル・サイズ・エミッタンス・エネルギー広がりなどの重要パラメータを、無摂動または微摂動でリアルタイムに測定し、加速器の精密調整・安定運転・性能最適化に不可欠なデータを提供することです。非遮断型・遮断型の各種プローブで構成されます：ビーム電流トランス（BCT）や壁電流モニターが電流と時間構造を測定し、ビーム位置モニター（BPM）がビーム軌道を監視し、ワイヤースキャナーや蛍光スクリーンが横方向プロファイルを取得し、シンクロトロン光や回折放射モニターが非遮断観察を可能にし、さらにエネルギー測定用の分光器やエミッタンス測定用のスリット・ペッパーポット装置などが組み合わされます。各検出器が協調し、ビーム状態の総合的な「健康診断」を実現します。
照射システム
照射性能評価システムは、照射環境下におけるチップ・基板・機器などの総合性能を精密に評価する重要な試験プラットフォームです。宇宙の放射線環境を精密に模擬することで、コア部品のその場・オンラインでの性能評価を実現します。主な機能は：制御された真空環境下で、照射環境におけるデバイス・機器の主要電気パラメータの線量率・時間に対する変化を精密測定すること、格子欠陥の生成や電気特性の劣化などの放射線損傷効果を同時に監視すること、さらに熱管理評価モジュールを統合して照射発熱と熱電結合効果を解析できることです。