Vakuumelektronenquellen-Bestrahlungssystem

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40 keV–60 keV · Gleichmäßige Bestrahlung · Für Serienprozesse geeignet

Das Vakuumelektronenquellen-Bestrahlungssystem dient der Strahlenfestigkeitsprüfung und Charakterisierung von Chips, Leiterplatten, elektronischen Systemen, Batterien sowie weiteren Materialien, Bauteilen und Geräten. Mit kontinuierlich einstellbaren Dosisraten ermöglicht es die qualitative und quantitative Verifikation rauer Weltraumstrahlungsumgebungen im Vakuum.

Hohe Leistung
Selbststabilisierend
Historienprotokollierung
Aufrüstbar & erweiterbar

Vakuumelektronenquellen-Bestrahlungssystem (schematisch)

Schematische Darstellung

Haupteinsatzgebiete

Material- & BauteilbestrahlungStrahlenfestigkeitstests für Chips, Leiterplatten, elektronische Systeme und Batterien
WeltraumumgebungssimulationKontinuierlich einstellbare Dosisraten zur Verifikation der Weltraumstrahlungsumgebung
Qualitative/quantitative CharakterisierungQualitative und quantitative Verifikation rauer Weltraumbedingungen
SerienbearbeitungBestrahlungsfeld 100 mm–1000 mm breit, Gleichmäßigkeit ≥90 %

Hauptgerät & Kernfunktionen

Hauptgerät des Vakuumelektronenquellen-Systems (schematisch)

Schematische Darstellung
  • Ausgestattet mit unverzichtbarem Strahldiagnostik- und Überwachungssubsystem inkl. Strommessung, Spotgrößenmessung und Strahlparameterdiagnostik
  • EPICS-basiertes Steuersystem mit Orts-/Fernbedienung, Sicherheits-Interlock-Schnittstellen sowie Parameter- und Messhistorien-Protokollierung
  • Hinsichtlich des Ausgangsstrahlstroms aufrüst- und erweiterbar
  • Elektronenstrahlenergie 40 keV–60 keV, Strahlstrom 1 µA–100 µA
  • Bestrahlungsfelddurchmesser von 100 mm bis 1000 mm einstellbar, Gleichmäßigkeit ≥90 %

Hochspannungsversorgung der Bestrahlungsquelle

Hochspannungsversorgung der Bestrahlungsquelle
  • Hochspannungsversorgung über räumliche HV-Kabelbündel mit dem Hauptgerät verbunden
  • Hochintegriertes Design mit 4 Leistungsmodulen: Hochspannungsversorgung, Heizstromquelle, Anodenversorgung und Fokussierversorgung
  • Umfassender Schutz inkl. Überspannungs-, Überstrom-, Überhitzungs- und Entladungserkennung für langfristigen Dauerbetrieb

Technische Daten

Parameter Wert
Strahlenergie 40 keV–60 keV einstellbar, Schrittwite ≤2 keV
Strahlstrom DC-Strahl, einstellbar im Bereich 1 µA–100 µA
Bestrahlungsfeld Ø 100 mm–1000 mm einstellbar
Bestrahlungsgleichmäßigkeit ≥90 %
Vakuumniveau besser als 2×10⁻⁴ Pa
Spotgrößenauflösung besser als 0,1 mm
Strommesauflösung besser als 10 nA
Steuersystem EPICS-basiert, Orts-/Fernbedienung, Historienprotokollierung
Sicherheitsfunktionen vollständiger Schutz inkl. Überspannungs-, Überstrom-, Überhitzungs- und Entladungserkennung

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