Système d’essai & caractérisation sous irradiation

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Commande locale/à distance · Conception intégrée · 10 keV–200 keV

Le système d’essai et de caractérisation sous irradiation est conçu pour les tests de tenue aux radiations et la caractérisation des puces, cartes électroniques, systèmes électroniques, batteries et autres matériaux, dispositifs et équipements. Il adopte une architecture verticale intégrée comprenant trois unités principales : l’unité principale de caractérisation, une alimentation haute tension auxiliaire et une armoire de commande auxiliaire. Avec des débits de dose continûment réglables, il simule avec précision les environnements radiatifs spatiaux sévères sous vide contrôlé, permettant des essais de vérification qualitatifs et quantitatifs.

Journalisation des historiques
Évolutif et extensible
Hautes performances
Auto-stabilisé

Système d'essai et de caractérisation sous irradiation (schéma)

Schéma de principe

Applications principales

Essais de tenue aux radiationsÉvaluation des effets d’irradiation sur les puces, cartes électroniques, systèmes électroniques et batteries
Simulation de l’environnement radiatif spatialSimulation précise des conditions radiatives spatiales sévères sous vide contrôlé
Surveillance de l’endommagement radiatifObservation en ligne des défauts cristallins, de la dégradation électrique et des effets associés
Évaluation du couplage thermoélectriqueAnalyse couplée de l’échauffement sous irradiation et de la gestion thermique

Unité principale & fonctions clés

Unité principale du système de caractérisation (schéma)

Schéma de principe
  • Mesure précise de l’évolution des paramètres électriques clés des dispositifs/équipements en fonction du débit de fluence et du temps en environnement d’irradiation sous vide contrôlé
  • Surveillance simultanée des effets d’endommagement radiatif tels que la formation de défauts cristallins et la dégradation des propriétés électriques
  • Module optionnel d’évaluation de la gestion thermique pour l’analyse de l’échauffement sous irradiation et des effets thermoélectriques couplés
  • Énergie du faisceau d’électrons de 10 keV à 200 keV, courant de 10 nA à 10 µA, taille de spot de 1 mm à 50 mm
  • Système de balayage optionnel pour un balayage uniforme sur 1000 mm×1000 mm

Chambre à échantillons & interfaces

La chambre à échantillons offre de nombreuses interfaces, avec des positions de montage réservées pour un porte-échantillon mobile 2D et les traversées de signaux correspondantes. Les dimensions de la chambre sont personnalisables, disponibles en version cylindrique (≥ Ø600 mm × H600 mm) ou cubique (≥ 600×600×600 mm). Plusieurs tailles de brides — CF100/CF150/CF200/CF250 — accueillent échantillons, cages de Faraday, écrans fluorescents, pompes turbomoléculaires et autres, couvrant ainsi des besoins d’essai variés.

Chambre à échantillons cylindrique
Interfaces à brides de la chambre à échantillons

Sous-système de diagnostic & surveillance du faisceau

Schéma du sous-système de diagnostic de faisceau

Le système utilise une sonde à cage de Faraday pour la mesure du courant de faisceau et une sonde à écran fluorescent pour la mesure de la taille de spot, combinées à une acquisition d’images CCD pour une surveillance de faisceau de haute précision.

  • Résolution de la mesure de taille de spot
  • Plage de courant de 1 mA à 10 nA, résolution meilleure que 10 nA
  • Ouverture de cage et diamètre/épaisseur d’écran personnalisables sur demande

Alimentation haute tension de la source d’irradiation

Alimentation haute tension de la source d'irradiation
  • Alimentation HT reliée à l’unité principale par faisceaux de câbles HT spatiaux
  • Conception hautement intégrée combinant 4 modules de puissance : alimentation HT, source de courant de chauffage, alimentation d’anode et alimentation de focalisation
  • Protection complète incluant détection de surtension, de surintensité, de surchauffe et de décharge, pour un fonctionnement continu à long terme

Caractéristiques techniques

Paramètre Spécification
Énergie du faisceau 10 keV–200 keV réglable, pas ≤ 2 keV
Courant de faisceau 10 nA–10 µA réglable, précision meilleure que 10 %
Champ d’exposition Ø 1 cm–5 cm réglable
Volume de la chambre cylindrique ≥ Ø600 mm × H600 mm
Niveau de vide de la chambre meilleur que 2×10⁻⁴ Pa
Ports réservés de la chambre plus de 4 ports à brides UHV standard CF35/CF100/CF150/CF200
Système de mesure de courant résolution meilleure que 10 nA
Résolution en taille de spot meilleure que 0,1 mm
Précision de position du spot meilleure que 0,05 mm
Plage de balayage 1000 mm×1000 mm
Système de pompage pompe turbomoléculaire + pompe sèche
Logiciel de commande basé sur EPICS, commande locale/à distance, journalisation des paramètres et des historiques
Évolutivité interface AEI universelle, compatible avec divers ensembles de cathodes

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