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Das Vakuumelektronenquellen-Bestrahlungssystem dient der Strahlenfestigkeitsprüfung und Charakterisierung von Chips, Leiterplatten, elektronischen Systemen, Batterien sowie weiteren Materialien, Bauteilen und Geräten. Mit kontinuierlich einstellbaren Dosisraten ermöglicht es die qualitative und quantitative Verifikation rauer Weltraumstrahlungsumgebungen im Vakuum.
Selbststabilisierend
Historienprotokollierung
Aufrüstbar & erweiterbar
Haupteinsatzgebiete
Hauptgerät & Kernfunktionen
- Ausgestattet mit unverzichtbarem Strahldiagnostik- und Überwachungssubsystem inkl. Strommessung, Spotgrößenmessung und Strahlparameterdiagnostik
- EPICS-basiertes Steuersystem mit Orts-/Fernbedienung, Sicherheits-Interlock-Schnittstellen sowie Parameter- und Messhistorien-Protokollierung
- Hinsichtlich des Ausgangsstrahlstroms aufrüst- und erweiterbar
- Elektronenstrahlenergie 40 keV–60 keV, Strahlstrom 1 µA–100 µA
- Bestrahlungsfelddurchmesser von 100 mm bis 1000 mm einstellbar, Gleichmäßigkeit ≥90 %
Hochspannungsversorgung der Bestrahlungsquelle

- Hochspannungsversorgung über räumliche HV-Kabelbündel mit dem Hauptgerät verbunden
- Hochintegriertes Design mit 4 Leistungsmodulen: Hochspannungsversorgung, Heizstromquelle, Anodenversorgung und Fokussierversorgung
- Umfassender Schutz inkl. Überspannungs-, Überstrom-, Überhitzungs- und Entladungserkennung für langfristigen Dauerbetrieb
Technische Daten
| Parameter | Wert |
|---|---|
| Strahlenergie | 40 keV–60 keV einstellbar, Schrittwite ≤2 keV |
| Strahlstrom | DC-Strahl, einstellbar im Bereich 1 µA–100 µA |
| Bestrahlungsfeld | Ø 100 mm–1000 mm einstellbar |
| Bestrahlungsgleichmäßigkeit | ≥90 % |
| Vakuumniveau | besser als 2×10⁻⁴ Pa |
| Spotgrößenauflösung | besser als 0,1 mm |
| Strommesauflösung | besser als 10 nA |
| Steuersystem | EPICS-basiert, Orts-/Fernbedienung, Historienprotokollierung |
| Sicherheitsfunktionen | vollständiger Schutz inkl. Überspannungs-, Überstrom-, Überhitzungs- und Entladungserkennung |
