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Das System zur Bestrahlungsleistungsprüfung und Charakterisierung ist für Strahlenfestigkeitstests und die Charakterisierung von Chips, Leiterplatten, elektronischen Systemen, Batterien sowie weiteren Materialien, Bauteilen und Geräten konzipiert. Es verfügt über einen vertikalen, integrierten Aufbau aus drei Haupteinheiten: der Charakterisierungshaupteinheit, einer externen Hochspannungsversorgung und einem externen Steuerschrank. Mit kontinuierlich einstellbaren Dosisraten bildet es raue Weltraumstrahlungsumgebungen in kontrolliertem Vakuum präzise nach und ermöglicht sowohl qualitative als auch quantitative Verifikationsprüfungen.
Aufrüstbar & erweiterbar
Hohe Leistung
Selbststabilisierend
Haupteinsatzgebiete
Hauptgerät & Kernfunktionen
- Präzise Messung der Entwicklung zentraler elektrischer Parameter von Bauteilen/Geräten über Flussrate und Zeit in kontrollierter Vakuum-Bestrahlungsumgebung
- Simultane Überwachung von Strahlenschäden wie Gitterdefektbildung und Degradation elektrischer Eigenschaften
- Optionales thermisches Bewertungsmodul zur Analyse von Bestrahlungserwärmung und thermoelektrischen Kopplungseffekten
- Elektronenstrahlenergie 10 keV–200 keV, Strahlstrom 10 nA–10 µA, Spotgröße 1 mm–50 mm
- Optionales Scannersystem für gleichmäßige Abtastung von 1000 mm×1000 mm
Probenkammer & Schnittstellen
Die Probenkammer bietet reichhaltige Schnittstellen mit vorgehaltenen Montageplätzen für einen 2D-verfahrbaren Probentisch und zugehörige Signaldurchführungen. Die Kammerabmessungen sind anpassbar – lieferbar als zylindrische Kammer (≥ Ø600 mm × H600 mm) oder kubische Kammer (≥ 600×600×600 mm). Mehrere Flanschgrößen — CF100/CF150/CF200/CF250 — nehmen Proben, Faraday-Becher, Fluoreszenzschirme, Turbomolekularpumpen und weiteres auf und erfüllen damit vielfältige Prüf-anforderungen.
Strahldiagnostik- & Überwachungssubsystem
Das System verwendet eine Faraday-Becher-Sonde zur Strahlstrommessung und eine Fluoreszenzschirm-Sonde zur Messung der Spotgröße, kombiniert mit CCD-Bilderfassung für hochpräzise Strahlüberwachung.
- Auflösung der Spotgrößenmessung
- Strombereich 1 mA–10 nA, Auflösung besser als 10 nA
- Becheröffnung sowie Schirmdurchmesser/-dicke auf Anfrage anpassbar
Hochspannungsversorgung der Bestrahlungsquelle
- Hochspannungsversorgung über räumliche HV-Kabelbündel mit dem Hauptgerät verbunden
- Hochintegriertes Design mit 4 Leistungsmodulen: Hochspannungsversorgung, Heizstromquelle, Anodenversorgung und Fokussierversorgung
- Umfassender Schutz inkl. Überspannungs-, Überstrom-, Überhitzungs- und Entladungserkennung für langfristigen Dauerbetrieb
Technische Daten
| Parameter | Wert |
|---|---|
| Strahlenergie | 10 keV–200 keV einstellbar, Schrittwite ≤2 keV |
| Strahlstrom | 10 nA–10 µA einstellbar, Genauigkeit besser als 10 % |
| Bestrahlungsfeld | Ø 1 cm–5 cm einstellbar |
| Volumen der Zylinderkammer | ≥ Ø600 mm × H600 mm |
| Vakuumniveau der Kammer | besser als 2×10⁻⁴ Pa |
| Reserveports der Kammer | mehr als 4 CF35/CF100/CF150/CF200 Standard-UHV-Flansports |
| Strommesssystem | Auflösung besser als 10 nA |
| Spotgrößenauflösung | besser als 0,1 mm |
| Spotpositionsgenauigkeit | besser als 0,05 mm |
| Abtastbereich | 1000 mm×1000 mm |
| Vakuumpumpsystem | Turbomolekularpumpe + Trockenpumpe |
| Steuersoftware | EPICS-basiert, Orts-/Fernbedienung, Parameter- & Historienprotokollierung |
| Erweiterbarkeit | universelle AEI-Schnittstelle, kompatibel mit verschiedenen Kathodenanordnungen |