宇宙機は軌道上で高エネルギー電子・陽子・重イオンの衝突に継続的にさらされ、放射線効果により半導体デバイスの性能劣化や故障が発生する可能性があります。そのため地上照射試験は宇宙用電子部品の信頼性検証に不可欠な工程であり、電子ビーム照射システムはその中核設備です。
宇宙放射線環境の特徴
地球放射線帯の高エネルギー電子フルエンスは、軌道高度と太陽活動に応じて動的に変化します。半導体デバイスにとって、電離総線量（TID）効果はしきい値シフトや漏れ電流の増大を引き起こし、変位損傷はキャリア寿命を低下させ、バイポーラデバイスや光半導体デバイスの性能に影響します。
電子ビーム照射試験の利点
- 線量率の連続調整：各軌道環境の線量率を模擬し、加速試験に対応；
- その場オンライン測定：照射中にデバイスの電気パラメータをフルエンス・時間に対して同時監視し、アニール効果の干渉を回避；
- 真空環境対応：真空チャンバー内での照射・測定は実際の軌道上条件に近似。
当社のソリューション
当社の照射性能評価システムは、制御された真空環境中でチップ・基板・完成機の照射試験を実施し、電気パラメータのその場測定、放射線損傷監視、熱管理評価モジュールを統合しています。線量率は連続調整可能で、部品レベルから装置レベルまでの厳しい検証ニーズに対応します。
詳しい仕様は製品・サービスページをご覧ください。